| 标准号 | SJ/T 11763-2020 关注 |
| 中文名称 | 半导体制造设备人机界面规范 |
| 英文名称 | Specification for human interface for semiconductor manufacturing equipment |
| 发布日期 | 2020-12-09 |
| 实施日期 | 2021-04-01 |
| 全文上线日期 | 2021-11-11 00:00:00 |
| 页数 | 0 |
| 起草单位 | 北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、秦皇岛视听机械研究所、上海微电子装备有限公司、北京京仪自动化装备技术有限公司、中微半导体设备(上海)有限公司 |
| 起草人 | |
| 归口单位 | |
| 中国标准分类 | |
| 国际标准分类 | |
| 摘要 | 本标准规定了半导体制造设备人机界面的术语和要求。 |
| 适用范围 | 本标准适用于半导体制造设备。 |
| 关键词 | |
| 标准状态 | 有效 |
| 相关公告 | |
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